微透鏡陣列、菲涅爾透鏡、光柵、衍射光學(xué)元件等微光學(xué)元件具有微型化、集成化、高精度、高靈敏度、低能耗等優(yōu)點(diǎn)，為先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)帶來了新的發(fā)展方向和機(jī)遇，因而在航空航天、國防安全、綠色能源、空間感測、激光輻射、光纖通信、生物醫(yī)療及消費(fèi)電子等領(lǐng)域的需求量日益增大。

　　熱壓印技術(shù)是實(shí)現(xiàn)高性能玻璃微光學(xué)元件低成本綠色制造的有效途徑。然而，由于加熱冷卻周期較長，溫度均勻性不高，其制造效率和成型質(zhì)量被限制。因此，深圳大學(xué)龔峰教授團(tuán)隊(duì)聯(lián)合香港理工大學(xué)超精密加工技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研發(fā)了一種基于氮化硅陶瓷加熱片的高溫快速均勻加熱模塊，并在《光學(xué)精密工程》（EI、Scopus，中文核心期刊，《儀器儀表領(lǐng)域高質(zhì)量科技期刊分級目錄》和《光學(xué)和光學(xué)工程領(lǐng)域高質(zhì)量科技期刊分級目錄》“T1級”期刊）上發(fā)表了題為“用于玻璃熱壓印的高溫快速均勻加熱模塊的制造及優(yōu)化”的封面文章。

　　該模塊最高溫度可達(dá)1 000℃，加熱速率為363℃/min，中心區(qū)域溫差2℃。如圖1所示，將此加熱模塊安裝在熱壓印設(shè)備上，可以用于成型高質(zhì)量玻璃微納結(jié)構(gòu)。